本報訊(記者薛婧)近日,依托自主研發的12英寸碳化硅長晶爐及熱場技術,哈爾濱科友半導體產業裝備與技術研究院有限公司(以下簡稱科友半導體)成功制備出12英寸碳化硅晶錠。這一成果標志著科友半導體成為國內少數同時掌握12英寸碳化硅晶體生長設備與工藝全套核心技術的半導體企業之一,實現了從設備到材料的全面自主突破。
碳化硅作為第三代半導體材料,是新能源汽車、5G通信、軌道交通等國家戰略性新興產業的關鍵基礎材料。近年來,隨著人工智能及可穿戴設備(如AR眼鏡)等新興領域的快速發展,碳化硅的高頻、高功率、耐高溫等性能優勢進一步凸顯??朴寻雽w成功制備出12英寸碳化硅晶錠,可大幅提升芯片產出量、顯著降低單位成本,將為新能源、通信、AR等產業注入更強發展動力。
科友半導體成立于2018年5月,是專注于第三代半導體裝備研發、襯底制作、器件設計、科研成果轉化的國家級高新技術企業,研發覆蓋半導體裝備研制、長晶工藝、襯底加工等多個領域,形成自主知識產權,已累計授權專利90余項,實現先進技術自主可控。